1738년 초 스위스 과학자 다니엘 베르누이(Daniel Bernoulli)는 물의 흐름을 측정하기 위해 최초의 베르누이 방정식-에 기초한 차압법을 활용했습니다. 나중에 이탈리아 GB Venturi는 유량 측정을 위한 Venturi 튜브의 사용을 조사하고 1791년에 그의 결과를 발표했습니다.
1886년 미국의 Clemens Herschel은 벤투리관 원리를 적용하여 물의 흐름을 측정하는 실용적인 장치를 만들었습니다.
20세기 초부터 중반까지 확립된 측정 원리가 점차 성숙해졌습니다. 연구자들은 더 이상 자신의 생각을 기존 방법에 국한시키지 않고 대신 새로운 탐구 방법에 착수했습니다.
1930년대에는 음파를 이용해 액체와 기체의 유속을 측정하는 방법이 등장하기 시작했습니다. 그러나 제2차 세계대전 이전에는 이 분야에서 큰 진전이 거의 이루어지지 않았습니다. 1955년이 되어서야 항공 연료 흐름을 측정할 목적으로 음향 순환 방식을 채용한 Maxson 유량계-가-소개되었습니다.
1960년대부터 유량 측정 장비는 더욱 정밀하고 소형화되는 방향으로 발전하기 시작했습니다.
집적 회로 기술의 급속한 발전으로 위상 고정 루프 기술을 통합한 초음파 유량계가 널리 채택되었습니다. 또한, 마이크로컴퓨터의 광범위한 적용으로 유량 측정 기능이 크게 향상되었습니다. 예를 들어 마이크로컴퓨터를 레이저 도플러 속도계에 통합하면 더 복잡한 신호를 처리할 수 있습니다.